Oxalumina keramisk sugekoppplate er et revolusjonerende produkt innen presisjonshåndteringssystemer. Den er laget av α-aluminiumoksidkeramikk (α-Al₂O₃) med en renhet på ≥99,9 %, kombinert med en konstruert porøs struktur for å oppnå optimal vakuumfordeling. Sammenlignet med tradisjonelle sugekopper av metall eller polymer, eliminerer denne keramiske løsningen risikoen for partikkelforurensning fullstendig, samtidig som den tåler ekstreme temperaturer (1750°C kontinuerlig drift) og korrosive miljøer. Dens unike mikrostruktur (2-5μm jevn porestørrelse, 3,89g/cm³ tetthet) sikrer submikron flathet (overflateruhet Ra≤0,1μm), noe som gjør den til den eneste profesjonelle sugekoppplattformen som kan håndtere 300 mm halvlederskiver med en sugenøyaktighet på ±0,1μm.
1. Gjennombrudd i materialytelse
Termisk stabilitet: ingen deformasjon i 800°C termiske sjokksykluser, og en levetid som er 5 ganger lengre enn for legerte sugekopper (prosessmiljø med høy temperatur).
Kjemisk motstand: 1-års vekttap med 30 % svovelsyrenedsenking er mindre enn 0,01 g, egnet for batterielektrolyttdrift og kjemisk dampavsetningsprosess.
Isolasjonsytelse: Nedbrytningsfeltstyrken når 40kV/mm, noe som sikrer sikker drift i plasmaetsekammeret.
2. Engineering design innovasjon
Porøsitetskontroll: 40 % porøsitet oppnås gjennom gelsprøytestøping, og 1-3μm poreveggstruktur forhindrer ultratynne deler (≤50μm) fra adsorpsjon og deformasjon.
Intelligent arkitektur: Innebygd temperatursensor støtter termisk styring i sanntid fra -196 ℃ til miljø med ultrahøy temperatur.